技術(shù)突破!科海思依托Tulsimer樹脂工藝 助力異丙醇凈化達到SEMI G5標準


中國產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟信息網(wǎng)   時間:2026-03-12





  在半導體產(chǎn)業(yè)向高端化、精細化迭代的當下,電子級異丙醇(IPA)作為芯片制造過程中的核心清洗劑,其純度直接關(guān)系到芯片良率與產(chǎn)品可靠性。SEMI G5標準作為電子級異丙醇的高端純度標桿,提出了近乎嚴苛的要求——SEMI G5標準要求雜質(zhì)含量需控制在1ppb(十億分之一)級別,部分關(guān)鍵指標,如硼離子需達到ppt級別,這一標準也成為衡量異丙醇凈化技術(shù)水平的核心標尺,同時契合當前國內(nèi)電子級異丙醇高端產(chǎn)能不足、進口依賴度較高的產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀。

  據(jù)2025年中國異丙醇市場行情回顧及2026年展望報告顯示,當前國內(nèi)電子級異丙醇產(chǎn)能突破12萬噸/年,但SEMI G4及以上級別高端產(chǎn)能僅2萬噸,自給率不足30%,高端產(chǎn)能缺口顯著,進口依賴度居高不下;2025年華東地區(qū)SEMI G4級電子級異丙醇均價達18000元/噸,較工業(yè)級異丙醇溢價超85%,高端產(chǎn)品的進口替代需求極為迫切。

  行業(yè)痛點凸顯:傳統(tǒng)異丙醇凈化工藝難以突破G5標準瓶頸

  長期以來,異丙醇凈化領(lǐng)域始終面臨痕量雜質(zhì)難以徹底去除的技術(shù)瓶頸。工業(yè)生產(chǎn)中,無論是丙烯水合合成的異丙醇粗品,還是電子清洗回收的再生液,都可能夾帶微量離子、痕量金屬、極性有機雜質(zhì)、硼離子及納米顆粒等“隱形污染物”。這些雜質(zhì)含量極低,卻可能在半導體清洗過程中留下殘留,影響芯片性能,成為異丙醇凈化達到SEMI G5標準的主要障礙。

  傳統(tǒng)異丙醇凈化工藝在應對這一挑戰(zhàn)時往往存在明顯局限。蒸餾/精餾工藝對ppb級、ppt級痕量雜質(zhì)的去除能力有限,難以滿足G5標準的凈化精度要求;膜分離工藝雖有一定凈化效果,但設備投入與運維成本較高,且易受雜質(zhì)污染堵塞,不利于規(guī)?;I(yè)生產(chǎn);絡合沉淀法則易引入二次污染,難以兼顧環(huán)保要求與產(chǎn)品純度,均難以適配半導體產(chǎn)業(yè)對高端異丙醇的需求。當前國內(nèi)SEMI G4及以上級別電子級異丙醇自給率不足30%,進口依賴度居高不下,而傳統(tǒng)工藝又難以突破SEMI G5標準瓶頸,面對這一產(chǎn)業(yè)困境,尋找一種兼具精準性、經(jīng)濟性與規(guī)模化適配性的凈化技術(shù),成為破解異丙醇凈化達SEMI G5標準的關(guān)鍵——科海思引入的Tulsimer?系列專用樹脂,正是這一問題的核心解決方案。

  技術(shù)適配:Tulsimer樹脂靶向除雜 破解G5凈化核心難題

  科海思深耕溶液凈化領(lǐng)域,精準把握行業(yè)需求,引入Tulsimer系列專用樹脂,并結(jié)合異丙醇凈化實際場景,打造差異化凈化方案。與傳統(tǒng)工藝相比,該方案采用“靶向除雜、協(xié)同凈化”的思路,針對異丙醇中不同類型的雜質(zhì),搭配專屬Tulsimer樹脂型號分工協(xié)作,逐步實現(xiàn)深度凈化,助力異丙醇品質(zhì)穩(wěn)定向SEMI G5標準靠攏,既解決了傳統(tǒng)工藝“一刀切”的凈化短板,又兼顧了凈化效率與經(jīng)濟性。

  在離子雜質(zhì)去除方面,Tulsimer T-42H陽離子樹脂與A-21S陰離子樹脂組合使用,可有效吸附異丙醇中常見的鈉、鉀、氯離子等常規(guī)離子,將其含量降至ppb級以下,為后續(xù)深度凈化筑牢基礎,同時最大程度降低二次污染風險。

  針對鐵、銅、汞等影響半導體清洗劑品質(zhì)的痕量金屬,CH-90、CH-97螯合樹脂能夠選擇性地與這些金屬離子形成穩(wěn)定絡合物,實現(xiàn)ppt級的深度去除,且對異丙醇本體性質(zhì)影響較小,適配高端半導體制程的嚴苛要求;對于甲醇、乙酸等與異丙醇性質(zhì)相近、傳統(tǒng)方法難以徹底分離的極性雜質(zhì),A-722大孔樹脂通過物理吸附作用實現(xiàn)選擇性吸附,在提升異丙醇純度的同時,有效保留產(chǎn)品收率,兼顧凈化效果與生產(chǎn)效益。

  而硼離子降至10ppt以下是SEMI G5標準的核心難點之一,CH-99專用除硼樹脂針對硼的化學特性定向設計,能夠在不同工況下穩(wěn)定吸附硼離子,且具備良好的再生性能,有助于降低企業(yè)長期運營成本。基于Tulsimer系列樹脂的靶向除雜優(yōu)勢,結(jié)合國內(nèi)電子級異丙醇規(guī)模化生產(chǎn)的需求,科海思結(jié)合自身工藝集成能力,將技術(shù)轉(zhuǎn)化為可工業(yè)化落地的閉環(huán)工藝,讓SEMI G5標準的異丙醇凈化從“可行”走向“可規(guī)模化”,助力破解國內(nèi)高端產(chǎn)能缺口難題。

  工藝落地:多級閉環(huán)凈化 適配工業(yè)化規(guī)?;a(chǎn)

  依托Tulsimer樹脂的優(yōu)異性能,科海思結(jié)合自身工藝集成能力,構(gòu)建了多級串聯(lián)的閉環(huán)異丙醇凈化工藝,適配工業(yè)化規(guī)?;a(chǎn)需求,目前該工藝方案已在國內(nèi)多家電子材料企業(yè)落地應用。這套工藝的核心在于各樹脂柱的協(xié)同配合:預處理環(huán)節(jié)通過精密過濾去除顆粒物,保障后續(xù)樹脂柱穩(wěn)定運行;工藝參數(shù)根據(jù)雜質(zhì)類型分級設計,充分發(fā)揮各型號Tulsimer樹脂的靶向吸附特性;樹脂吸附飽和后可通過針對性再生恢復吸附能力,延長使用壽命,進一步優(yōu)化綜合生產(chǎn)成本。

  從工業(yè)化應用實踐來看,科海思依托Tulsimer樹脂打造的異丙醇凈化工藝表現(xiàn)出良好的綜合性能。經(jīng)工藝適配優(yōu)化后,可穩(wěn)定將異丙醇純度提升,金屬總量、硼離子等關(guān)鍵指標均能較好滿足SEMI G5規(guī)范要求,契合半導體行業(yè)對電子級異丙醇的純度需求;在長期工業(yè)化運行中,工藝整體穩(wěn)定性較強,樹脂性能無明顯衰減,再生后吸附效果可恢復至新樹脂水平,磨損率較低;與傳統(tǒng)工藝相比,該方案可有效提升電子級異丙醇回收率,高再生率大幅減少耗材更換成本,讓綜合生產(chǎn)成本處于可控范圍。

  未來展望:深耕凈化領(lǐng)域 賦能高端制造升級

  當前,我國化工行業(yè)正加速從規(guī)模擴張向質(zhì)量提升轉(zhuǎn)型,高端電子材料領(lǐng)域的進口替代需求日益迫切。電子級異丙醇作為半導體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵配套材料,其凈化技術(shù)的突破對推動國內(nèi)高端制造產(chǎn)業(yè)升級具有重要意義。隨著半導體產(chǎn)業(yè)向更先進制程迭代,對電子級異丙醇的純度要求將進一步提高,SEMI G5標準也有望逐步成為行業(yè)標配,異丙醇凈化技術(shù)的重要性將愈發(fā)凸顯。

  作為深耕溶液凈化領(lǐng)域的企業(yè),科海思憑借專業(yè)的工藝集成能力,引入Tulsimer系列專用樹脂,為異丙醇凈化提供了兼具專業(yè)性、穩(wěn)定性與經(jīng)濟性的解決方案,為電子級異丙醇達到SEMI G5標準提供了可行路徑之一。未來,科海思將持續(xù)聚焦電子級異丙醇凈化的核心需求,不斷優(yōu)化工藝集成水平,充分發(fā)揮Tulsimer樹脂的性能優(yōu)勢,進一步提升凈化效率與品質(zhì)穩(wěn)定性,為高端電子材料發(fā)展提供更可靠的技術(shù)與產(chǎn)品支撐,助力國內(nèi)高端制造產(chǎn)業(yè)穩(wěn)步升級,推動我國電子化學品領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展。


  轉(zhuǎn)自:日照新聞網(wǎng)

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