納米級角度國家一級標準物質(zhì)研制成功

　　8日，記者從國家市場監(jiān)管總局獲悉，該局近日新批準二維鉻納米柵格標準物質(zhì)、二維硅納米柵格標準物質(zhì)、一維硅納米光柵標準物質(zhì)3項國家一級標準物質(zhì)，這些物質(zhì)能夠同時滿足納米制造產(chǎn)業(yè)角度和長度校準需求，為新一代信息技術、新材料、生物制造、高端裝備等領域的納米制造提供精準“標尺”。

　　據(jù)標準物質(zhì)研制單位同濟大學相關專家介紹，研制高精度納米級標準物質(zhì)，是打造高準確度納米測量傳遞鏈、提升國產(chǎn)納米制造產(chǎn)品質(zhì)量可靠性的關鍵。二維鉻納米柵格標準物質(zhì)突破性地采用分步沉積原子光刻技術，制備難度較大，可直接溯源到自然界量子化物理常數(shù)（鉻原子躍遷頻率），角度絕對準確性在0.001°量級，相當于把一個蛋糕按扇形均分成36萬份；二維鉻納米柵格的結構面積一般為300μm（微米）×300μm（微米），在沒有劃傷或破壞的狀況下，每次使用2μm（微米）×2μm（微米），不重復使用測量區(qū)域次數(shù)可達20000次以上。其可應用于晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測設備校準，也可應用于對超精密位移傳感器多種參數(shù)的光柵干涉法校準。

　　納米級角度標準物質(zhì)的研制成功，實現(xiàn)了納米測量領域的扁平化計量，可通過在線校準直接將高精度計量數(shù)據(jù)傳遞到企業(yè)計量現(xiàn)場，避免傳統(tǒng)逐級量值傳遞方式造成的誤差累積放大，將為我國納米制造產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐。

　　據(jù)了解，國家市場監(jiān)管總局將持續(xù)強化納米測量領域標準物質(zhì)研制應用，進一步解決納米制造“測不了、測不全、測不準”問題，為筑牢新興產(chǎn)業(yè)和未來產(chǎn)業(yè)技術基礎提供支撐保障。（記者付麗麗）

　　轉(zhuǎn)自：科技日報

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