從SPS廣州智能制造展看半導(dǎo)體封測(cè)“內(nèi)卷”，高速相機(jī)如何成為工藝升級(jí)的關(guān)鍵工具 ?

　　剛剛落幕的SPS廣州國際智能制造技術(shù)與裝備展覽會(huì)，機(jī)器視覺、工業(yè)自動(dòng)化與半導(dǎo)體制造領(lǐng)域再次成為行業(yè)關(guān)注焦點(diǎn)。

　　在半導(dǎo)體封測(cè)、功率器件制造、精密點(diǎn)膠、晶粒分選等高速工藝環(huán)節(jié)中，高速相機(jī)（High-Speed Camera），作為"時(shí)間的顯微鏡"，能夠以數(shù)千至數(shù)萬幀每秒的速度記錄工藝設(shè)備動(dòng)作機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)細(xì)節(jié)，使工程師可以“看見肉眼無法捕捉的瞬間”。

　　作為國內(nèi)高速相機(jī)頭部廠商，千眼狼（Revealer）高速相機(jī)近年來在半導(dǎo)體封測(cè)行業(yè)積累了眾多典型應(yīng)用案例，助力半導(dǎo)體制造提升效率。

　　案例1：晶粒編帶工藝分析

　　編帶機(jī)吸頭抓取晶粒并進(jìn)行定位打標(biāo)是半導(dǎo)體封測(cè)的關(guān)鍵工序。吸頭完成晶粒吸附、卡爪完成定位、打標(biāo)機(jī)構(gòu)完成字符動(dòng)作往往發(fā)生在毫秒級(jí)，而且晶粒尺寸常見在0.5 mm級(jí)別?，F(xiàn)場(chǎng)工程師真正的需求并不是拍到畫面，而是要看清動(dòng)作先后、接觸瞬間、偏移來源，并據(jù)此橫向?qū)Ρ炔煌放圃O(shè)備的機(jī)構(gòu)差異，提出改進(jìn)措施。

　　在這類工位，高速相機(jī)憑借足夠高得幀率把“瞬間”拉長，把吸頭接觸晶粒、晶粒被帶起、卡爪加持定位、打字符機(jī)構(gòu)壓下及回彈的全過程連續(xù)記錄，并能在狹窄空間完成快速布設(shè)與微距成像。千眼狼（Revealer）M230 Pro高速相機(jī)憑借迷你緊湊的機(jī)身，3000 fps采集幀率，搭配增倍鏡與微距鏡頭的方案可有效勝任此類微距成像任務(wù)，助力現(xiàn)場(chǎng)工程師把靠經(jīng)驗(yàn)猜測(cè)的“機(jī)構(gòu)問題”變成可復(fù)盤、可對(duì)比、可量化討論的“影像證據(jù)”。當(dāng)動(dòng)作細(xì)節(jié)可視化后，工程師們能更快定位誤差來自夾持、定位還是打標(biāo)環(huán)節(jié)，減少反復(fù)試錯(cuò)時(shí)間，形成改進(jìn)閉環(huán)，支撐設(shè)備優(yōu)化與工藝穩(wěn)定性提升。

　　在半導(dǎo)體封測(cè)編帶工序里，高速相機(jī)通過毫秒級(jí)影像記錄設(shè)備機(jī)構(gòu)動(dòng)作細(xì)節(jié)，使工程師可視化分析吸附、定位與打標(biāo)過程，是提升設(shè)備調(diào)試效率的重要工具。

　　案例2：錫膏焊接過程監(jiān)測(cè)

　　連接器相關(guān)工藝中，錫膏放置的穩(wěn)定性直接關(guān)聯(lián)良品率。當(dāng)焊點(diǎn)異常出現(xiàn)時(shí)，工程師需要判斷問題究竟來自機(jī)械手臂軌跡偏差、取放時(shí)序錯(cuò)位，還是錫膏在放置瞬間發(fā)生滑移、拉絲或位置偏離。

　　高速相機(jī)通過高幀率，把“取-放-離開”這一瞬間完整記錄下來，供工程師逐幀復(fù)盤：機(jī)械手末端是否存在抖動(dòng)，錫膏落點(diǎn)是否到位，離開時(shí)是否帶出拉絲。千眼狼（Revealer）NEO Mini 06M高速相機(jī)具備6000 fps采集幀率、小體積、易夾裝與高感光度特征，助力工程師們不用反復(fù)停機(jī)拆檢，通過高速影像快速確認(rèn)問題時(shí)刻，“看見”錫膏形態(tài)與放置軌跡，為參數(shù)速度、加速度、氣壓、離開路徑等提供調(diào)整迭代證據(jù)，減少無效調(diào)參，降低返工成本。

　　半導(dǎo)體電子焊接和錫膏放置工藝中，高速相機(jī)能夠通過高幀率記錄機(jī)械手動(dòng)作與材料形態(tài)變化，幫助工程師準(zhǔn)確判斷焊接異常原因。

　　案例3：晶粒分選頂針動(dòng)作分析

　　晶粒分選設(shè)備，頂針頂出與吸頭吸取配合非常敏感。產(chǎn)線遇到的問題是偶發(fā)的吸取失敗、晶粒姿態(tài)異?；蚱茡p，工程師需要判斷頂針頂出高度是否穩(wěn)定、頂出時(shí)序是否漂移、吸頭接觸是否過深或過淺。這些動(dòng)作發(fā)生極快，需借助高速相機(jī)同步記錄頂針頂出與吸頭動(dòng)作，讓頂針開始頂出、達(dá)到峰值、晶粒姿態(tài)變化、吸頭接觸與帶走的瞬間都能逐幀確認(rèn)。千眼狼（Revealer）M220 Pro高速相機(jī)捕捉的動(dòng)作序列圖像可轉(zhuǎn)化為量化判斷（如頂出高度的漂移趨勢(shì)）的數(shù)據(jù)支撐，助力客戶更早、更準(zhǔn)確識(shí)別維護(hù)信號(hào)，同時(shí)也能助力工藝團(tuán)隊(duì)把吸頭、頂針、時(shí)序等問題拆分定位，避免把復(fù)雜問題誤判為單一原因。

　　在半導(dǎo)體晶粒分選設(shè)備中，高速相機(jī)能夠記錄頂針頂出與吸頭抓取的毫秒級(jí)配合過程，是分析吸取異常和設(shè)備維護(hù)的重要工具。

　　案例4：點(diǎn)膠拉絲工藝優(yōu)化

　　封裝點(diǎn)膠工序里，拉絲、飛濺、斷絲等現(xiàn)象往往導(dǎo)致外觀缺陷或可靠性風(fēng)險(xiǎn)。現(xiàn)場(chǎng)工藝工程師們需要了解拉絲是何時(shí)開始，與氣壓/速度的關(guān)系是什么，不同參數(shù)下膠體形態(tài)如何變化。點(diǎn)膠過程發(fā)生時(shí)間極短，且設(shè)備空間狹窄，架設(shè)困難，千眼狼（Revealer）M Pro高速相機(jī)機(jī)身迷你且緊湊，適合布設(shè)在空間狹窄的點(diǎn)膠設(shè)備內(nèi)部，通過適配工位的支架與XYZ微調(diào)機(jī)構(gòu)，標(biāo)準(zhǔn)化布設(shè)與點(diǎn)膠工位，以2000 fps速率記錄點(diǎn)膠拉絲全過程，讓工程師們能夠在同一工位、同一視角下對(duì)比不同氣壓條件的點(diǎn)膠拉絲差異，快速鎖定導(dǎo)致拉絲的關(guān)鍵變量，建立參數(shù)窗口，準(zhǔn)確判斷噴嘴狀態(tài)、壓力波動(dòng)與運(yùn)動(dòng)曲線是否異常，從而減少試錯(cuò)時(shí)間、降低點(diǎn)膠機(jī)頻率，提升工藝一致性。

　　在半導(dǎo)體封裝點(diǎn)膠工藝中，高速相機(jī)能夠記錄膠體噴出與拉絲的高速變化過程，為點(diǎn)膠參數(shù)優(yōu)化提供可視化依據(jù)。

　　附：千眼狼（Revealer）高速相機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)勢(shì)

　　針對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用場(chǎng)景，工業(yè)高速相機(jī)需要具備：

　　●高幀率（2000 fps甚至5000 fps以上）

　　●微距拍攝能力

　　●緊湊結(jié)構(gòu)

　　●靈活安裝與補(bǔ)光

　　千眼狼（Revealer）高速相機(jī)在產(chǎn)品形態(tài)、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上針對(duì)工業(yè)現(xiàn)象進(jìn)行優(yōu)化：

　　●集成式工控機(jī)

　　●XYZ三向微調(diào)滑臺(tái)

　　●工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)快速部署結(jié)構(gòu)

　　●近距離補(bǔ)光設(shè)計(jì)

　　上述特點(diǎn)使其在半導(dǎo)體封測(cè)、電子制造、自動(dòng)化設(shè)備調(diào)試等場(chǎng)景中具有良好的適配性。

　　隨著半導(dǎo)體設(shè)備速度與精度不斷提升，越來越多關(guān)鍵工藝發(fā)生在毫秒級(jí)。高速相機(jī)通過高幀率記錄設(shè)備動(dòng)作與材料變化，成為“工藝分析工具”，在封測(cè)、點(diǎn)膠、分選及焊接等環(huán)節(jié)中的應(yīng)用將越來越廣泛，助力工程師們更加高效地調(diào)試封測(cè)設(shè)備，優(yōu)化工藝參數(shù)。

　　轉(zhuǎn)自：中華網(wǎng)

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