江蘇蘇州，成川科技（蘇州）有限公司（以下簡稱“成川科技”）AMHS Demo線展廳內(nèi)，銀色天車在四米軌道上疾馳而過，每秒5.2米的極速穿梭中，晶圓盒抓取定位誤差精準鎖定在±1毫米--這條躍動的“空中走廊”，宣告著中國在半導體自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)歷史性突圍。
AMHS被喻為晶圓廠的“空中高速公路”，天車需在萬級潔凈環(huán)境中實現(xiàn)7×24小時無間斷精準搬運。面對日本大福與村田構(gòu)筑的專利壁壘，成川科技創(chuàng)始人顧曉勇帶領(lǐng)團隊開啟系統(tǒng)級創(chuàng)新?！拔覀儾粌H要突破機械設(shè)計、運動控制等模塊技術(shù)，更要攻克ISO Class 100超精密制造工藝與MTBF≥2000小時的穩(wěn)定性驗證體系?！边@位技術(shù)出身的掌舵人坦言。
2022年秋，華天科技先進封裝生產(chǎn)線的測試車間，國產(chǎn)AMHS正經(jīng)歷最嚴苛的“成人禮”--168小時無故障連續(xù)運行測試。這不是簡單的耐力測試，而是對研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試全周期質(zhì)量體系的終極檢驗。中佳知識產(chǎn)權(quán)專家李申評價：“這不僅是設(shè)備創(chuàng)新，更是符合新質(zhì)生產(chǎn)力要求的技術(shù)范式重構(gòu)?！?/p>
在半導體設(shè)備出口管制的背景下，成川科技實現(xiàn)導軌電機、精密傳感器等核心部件100%國產(chǎn)替代。目前，成川科技正聯(lián)合上下游攻關(guān)晶圓廠特殊環(huán)境適應(yīng)性難題，力求在天車防微振、防靜電等關(guān)鍵指標上實現(xiàn)突破。
從追趕者到并行者，國產(chǎn)AMHS的突圍軌跡勾勒出新質(zhì)生產(chǎn)力的培育路徑，以智能調(diào)度突破技術(shù)壟斷，以數(shù)字孿生重構(gòu)制造流程，以完全自主筑牢產(chǎn)業(yè)根基。在這場攸關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈安全的科技攻堅中，中國創(chuàng)新力量正用硬核突破重塑全球半導體的競爭格局。（任徐穎）
轉(zhuǎn)自：中國工業(yè)報
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