從“硅片”到“芯片”全流程制造 ，德州職業(yè)技術(shù)學(xué)院實(shí)訓(xùn)場(chǎng)景實(shí)現(xiàn)新突破

　　1月30日，在德州職業(yè)技術(shù)學(xué)院集成電路制造工藝實(shí)踐中心，記者見證了一個(gè)芯片誕生的過程?！皠偛诺牟襟E是光刻，通過勻膠、曝光、顯影，利用我們分辨率達(dá)微米級(jí)的光刻機(jī)，將設(shè)計(jì)好的電路圖形‘印刷’到硅片上，這是決定芯片功能精度的關(guān)鍵一步?！钡轮萋殬I(yè)技術(shù)學(xué)院集成電路學(xué)院教師趙寧寧介紹。

　　以往，學(xué)生畢業(yè)后進(jìn)入企業(yè)，面對(duì)復(fù)雜精密的工藝，需要很長的適應(yīng)期。受限于設(shè)備、場(chǎng)地和成本，職業(yè)院校難以提供覆蓋全鏈條的、真實(shí)的制造體驗(yàn)。

　　為打破瓶頸，依托全球集成電路產(chǎn)業(yè)綜合競爭力百強(qiáng)城市優(yōu)勢(shì)，德州職業(yè)技術(shù)學(xué)院“復(fù)現(xiàn)”了一個(gè)真實(shí)的、可運(yùn)行的微型芯片制造實(shí)訓(xùn)環(huán)境——集成電路制造工藝實(shí)踐中心。在該中心，學(xué)生可親手將一枚光禿禿的硅片，制造成一顆具備特定功能、可測(cè)試可應(yīng)用的集成電路芯片。

　　據(jù)了解，能具備全真、閉環(huán)、可實(shí)際制造芯片的工藝鏈的職業(yè)院校實(shí)訓(xùn)基地，多集中在長三角、珠三角等產(chǎn)業(yè)高度集聚區(qū)。德州職業(yè)技術(shù)學(xué)院是我國北方地區(qū)首家真正打通了這條“校園芯片制造之路”的高職院校。集成電路制造工藝實(shí)踐中心是我國北方地區(qū)職業(yè)院校中首個(gè)真正實(shí)現(xiàn)“從硅片到芯片”全流程制造的實(shí)踐教學(xué)平臺(tái)。

　　集成電路制造工藝實(shí)踐中心構(gòu)建了一條完整的“教學(xué)型”芯片制造短流程線。它涵蓋了芯片制造最核心的六大模塊：薄膜制備、光刻圖形化、刻蝕、清洗去膠、封裝鍵合、功能測(cè)試。從一片普通的硅片進(jìn)入中心開始，它將經(jīng)歷：薄膜沉積、光刻與圖形化、刻蝕、后道工藝、測(cè)試與驗(yàn)證。整個(gè)流程，從“硅片”入到“芯片”出，全部在集成電路制造工藝實(shí)踐中心完成。

　　“我們的工藝能力可以達(dá)到3微米精度，集成電路制造工藝實(shí)踐中心對(duì)于教學(xué)實(shí)訓(xùn)、技能培養(yǎng)和初期的產(chǎn)品開發(fā)驗(yàn)證而言，是很寶貴和先進(jìn)的平臺(tái)?！钡轮萋殬I(yè)技術(shù)學(xué)院集成電路學(xué)院負(fù)責(zé)人崔健說，當(dāng)學(xué)生手持自己參與設(shè)計(jì)、自己操作設(shè)備、自己封裝測(cè)試的芯片，看到它成功驅(qū)動(dòng)一個(gè)演示系統(tǒng)時(shí)，那種成就感和對(duì)專業(yè)的認(rèn)同，是任何虛擬仿真或片段化實(shí)訓(xùn)都無法給予的。

　　對(duì)產(chǎn)業(yè)而言，德州職業(yè)技術(shù)學(xué)院提供了一個(gè)“人才培養(yǎng)前置基地”和“技術(shù)驗(yàn)證微縮平臺(tái)”，在滿足社會(huì)需求、促進(jìn)德州市集成電路產(chǎn)業(yè)鏈延鏈補(bǔ)鏈等方面發(fā)揮積極作用。企業(yè)可以將部分初級(jí)工藝培訓(xùn)前置到學(xué)校，學(xué)生畢業(yè)即能上手，大大縮短了企業(yè)培訓(xùn)成本。本地中小微科技企業(yè)、創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)，也可以在該中心進(jìn)行小批量流片、工藝試驗(yàn)和原型驗(yàn)證。

　　“圍繞這條真產(chǎn)線，學(xué)校的課程改革、教材開發(fā)、師資鍛煉、‘崗課賽證’融通，都有了堅(jiān)實(shí)的依托，助推職業(yè)教育，從模擬走向真實(shí)，從跟跑走向在特定領(lǐng)域的并跑甚至領(lǐng)跑?！钡轮萋殬I(yè)技術(shù)學(xué)院黨委委員、副院長梁強(qiáng)表示。

　　轉(zhuǎn)自：中華網(wǎng)

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