我國集成電路制造達國際先進水平

　　本報訊 ３月３日，國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”“十一五”成果發(fā)布會暨采購合同簽約儀式在北京舉行。全國政協(xié)副主席、科技部部長萬鋼出席會議。

　　據(jù)該專項相關(guān)負責人介紹，該專項實施以來，已在整機裝備、成套工藝和關(guān)鍵材料等方面初步掌握了一批制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心技術(shù)，帶動了我國集成電路領(lǐng)域整體競爭力的提升。

　　“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項是我國１６個科技重大專項之一，旨在通過開展集成電路制造裝備、工藝、材料技術(shù)研究，掌握制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心技術(shù)，在國際競爭中培育世界級企業(yè)，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)技術(shù)水平與世界同步，使我國成為世界集成電路產(chǎn)業(yè)強國，并帶動我國裝備制造業(yè)和材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展。該專項于２００８年啟動實施，截至目前已經(jīng)立項５８個項目，參與單位達１３３家，其中企業(yè)有８０余家，分布在北京、上海、江蘇等１８個省市，目前該專項各單位已累計申請專利４２４８件，研發(fā)成果實現(xiàn)銷售收入超過１００億元，帶動相關(guān)產(chǎn)業(yè)增長近千億元。

　　據(jù)悉，在成套工藝方面，“６５納米成套產(chǎn)品工藝”整體研發(fā)完成并進入批量生產(chǎn)，使我國集成電路制造首次達到國際先進水平。在裝備整機方面，多臺１２英寸關(guān)鍵整機產(chǎn)品及關(guān)鍵零部件實現(xiàn)突破，改變了長期被國外企業(yè)壟斷的被動局面：我國自主研制的１２英寸６５納米介質(zhì)刻蝕機產(chǎn)品已獲得國內(nèi)外批量訂單２０臺，１２英寸６５納米柵刻蝕機通過全部工藝驗證。

　　據(jù)該專項相關(guān)負責人介紹，這些成果的取得大大縮短了我國與發(fā)達國家和地區(qū)的技術(shù)差距，極大地帶動了國內(nèi)眾多集成電路設(shè)計企業(yè)以及相關(guān)電子整機企業(yè)綜合競爭力的全面提升。

　　會上還舉行了采購合同與合作協(xié)議簽約儀式。中芯國際、長電科技、通富微電與設(shè)計企業(yè)簽訂合作協(xié)議；中芯國際、上海華力、長電科技、通富微電與裝備、材料企業(yè)簽訂采購合同與合約，涉及集成電路高端制造裝備產(chǎn)品１５臺（套）、封測裝備８７臺（套）以及系列材料產(chǎn)品，合同金額１０億元。

來源：中國高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)導報

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